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臺式掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發(fā)出的電子束經(jīng)柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經(jīng)過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學(xué)系統(tǒng)，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10nm的電子束，并在試樣表面聚焦。末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子束與樣品物質(zhì)相互作用產(chǎn)生二次電子，背反射電子，X射線等信號。這些信號分別被不同的接收器接收，經(jīng)放大后用來調(diào)制熒光屏的亮度。由于經(jīng)過掃描線圈上的電流與顯像管相應(yīng)偏轉(zhuǎn)線圈上的電流同步，...

場發(fā)射電鏡采用了肖特基場發(fā)射電子(SFE)源。其特點(diǎn)是：探針電流大，容易進(jìn)行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。電子束噪聲較小，場發(fā)射電鏡加速電壓0.1-30kV，且在0.1kV的加速電壓下仍有較高的分辨率。隨著電子束能量的降低，像差也隨著降低。從而在降至100V時，也有水平的分辨率，在30KV時具有高分辨率。高的電子束能量再加上電子束路徑上不存在交叉，降低了電子束電子之間的靜電庫倫作用，避免了由此而引起的亮度降低以及顯微鏡的分辨率的限制。尤其是需要低電子束能量時，...

應(yīng)用各種礦物學(xué)原理與方法，通過礦物的光、電、聲、熱、磁、重、硬度、氣味等以及其主要的化學(xué)成分特征，對巖石、礦物樣品、包括光(薄)片、砂片、碎屑、粉末進(jìn)行觀察、鑒定以區(qū)別其礦物類別，以及研究巖石、礦石的主要礦物組成、礦物成生序列，結(jié)構(gòu)、構(gòu)造、巖(礦)石類型的技術(shù)方法，稱為巖礦分析(鑒定)。巖礦分析系統(tǒng)現(xiàn)今已經(jīng)可以準(zhǔn)確地確定礦物微區(qū)化學(xué)成分、內(nèi)部結(jié)構(gòu)、晶系，晶胞參數(shù)等，對礦物表面進(jìn)行的精細(xì)掃描，已可精密測量礦物表面元素組成、價態(tài)、表面形貌，并繪出礦物的三維圖像(地球科學(xué)辭典)。地...

SEM掃描電鏡是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，與樣品相互作用產(chǎn)生各種物理信號，這些信號經(jīng)檢測器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號，在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍大、連續(xù)可調(diào)、分辨率高、樣品室空間大且樣品制備簡單等特點(diǎn)，是進(jìn)行樣品表面研究的有效分析工具。通過本實(shí)驗(yàn)學(xué)習(xí)，了解掃描電鏡基本機(jī)構(gòu)，掌握掃描電鏡的基本使用方法和使用過程中的注意事項(xiàng)。SEM掃描電鏡圖像襯度觀察：1．樣品制備掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)之一是樣品制備簡單，對于新鮮的...

臺式掃描電鏡體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機(jī)械性能好，因而適用的范圍廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。一般在半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過程巾包括了切割、研磨、拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列工作，會造成表面的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化，所以幾乎每一個步驟都需要對擴(kuò)散進(jìn)行檢測，深度進(jìn)行測繭或者直接看到擴(kuò)散區(qū)的實(shí)際分布情況，而生產(chǎn)大型集成電路就更是如此。目前，臺式掃電鏡在半導(dǎo)體中的應(yīng)用已經(jīng)深入到許多方面。臺式掃描電鏡利用柬感應(yīng)電流（EBIC）像和吸收電...

超高壓XRD分析手段有2種，分單晶X射線衍射法，多晶X射線衍射法。對應(yīng)地，所用的XRD設(shè)備，也分為單晶衍射儀和多晶衍射儀。物相，簡稱為相，它是有某種晶體結(jié)構(gòu)并能用化學(xué)式表征其化學(xué)成分（或有一定的成分范圍）的固體物質(zhì)?；瘜W(xué)成分不同的是不同的物相，化學(xué)成分相同而內(nèi)部結(jié)構(gòu)不同的，也是不同的物相。例如，同樣是鐵，它能以晶體結(jié)構(gòu)為體心立方結(jié)構(gòu)的Fe、也能以面心立方結(jié)構(gòu)的Fe、還能以體心立方結(jié)構(gòu)的高溫Fe，這3種物相形式存在。X射線的性質(zhì)：1）物理作用，使某些物質(zhì)發(fā)出熒光一可見光，用于熒...

當(dāng)一束單色X射線照射到晶體上時，晶體中原子周圍的電子受X射線周期變化的電場作用而振動，從而使每個電子都變?yōu)榘l(fā)射球面電磁波的次生波源。所發(fā)射球面波的頻率與入射的X射線相一致?；诰w結(jié)構(gòu)的周期性，晶體中各個原子（原子上的電子）的散射波可相互干涉而疊加，稱之為相干散射或衍射。X射線在晶體中的衍射現(xiàn)象，實(shí)質(zhì)上是大量原子散射波相互干涉的結(jié)果。每種晶體所產(chǎn)生的衍射花樣都反映出晶體內(nèi)部的原子分布規(guī)律。X射線衍射儀XRD主要部件包括4部分：（1）高穩(wěn)定度X射線源提供測量所需的X射線，改變X...